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    本

    機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

    機械・材料系のための
    近藤英一/著
    出版社名 : 共立出版
    出版年月 : 2005年10月
    ISBNコード : 978-4-320-08154-3
    (4-320-08154-4)
    税込価格 : 3,024円
    頁数・縦 : 226P 21cm
    出荷の目安 : お取り寄せ
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    商品の内容

    [目次]

    第1章 導入
    第2章 真空と気体分子運動論
    第3章 プラズマの基礎
    第4章 物理蒸着法(PVD)
    第5章 薄膜の形成過程
    第6章 エッチング
    第7章 フォトリソグラフィ
    付録A 基礎定数表と真空の単位
    付録B 材料の科学についてのノート
    付録C 分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布
    付録D 対数目盛と対数グラフ

    [出版社商品紹介]

    マイクロデバイス加工の要素技術について、その物理・化学の基本原理を解説する。

    著者紹介

    近藤 英一 (コンドウ エイイチ)  

    1984年早稲田大学理工学部卒、1986年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員(ベルギー)などを経て、山梨大学助教授(工博、京都大学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

    著者情報

    近藤 英一

    1984年早稲田大学理工学部卒、1986年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員(ベルギー)などを経て、山梨大学助教授(工博、京都大学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

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