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本

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

機械・材料系のための
近藤英一/著
出版社名 : 共立出版
出版年月 : 2005年10月
ISBNコード : 978-4-320-08154-3
(4-320-08154-4)
税込価格 : 3,024円
頁数・縦 : 226P 21cm
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商品の内容

[目次]

第1章 導入
第2章 真空と気体分子運動論
第3章 プラズマの基礎
第4章 物理蒸着法(PVD)
第5章 薄膜の形成過程
第6章 エッチング
第7章 フォトリソグラフィ
付録A 基礎定数表と真空の単位
付録B 材料の科学についてのノート
付録C 分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布
付録D 対数目盛と対数グラフ

[出版社商品紹介]

マイクロデバイス加工の要素技術について、その物理・化学の基本原理を解説する。

著者紹介

近藤 英一 (コンドウ エイイチ)  

1984年早稲田大学理工学部卒、1986年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員(ベルギー)などを経て、山梨大学助教授(工博、京都大学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

著者情報

近藤 英一

1984年早稲田大学理工学部卒、1986年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員(ベルギー)などを経て、山梨大学助教授(工博、京都大学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

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