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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

機械・材料系のための

出版社名 共立出版
出版年月 2005年10月
ISBNコード 978-4-320-08154-3
4-320-08154-4
税込価格 3,024円
頁数・縦 226P 21cm

商品内容

目次

第1章 導入
第2章 真空と気体分子運動論
第3章 プラズマの基礎
第4章 物理蒸着法(PVD)
第5章 薄膜の形成過程
第6章 エッチング
第7章 フォトリソグラフィ
付録A 基礎定数表と真空の単位
付録B 材料の科学についてのノート
付録C 分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布
付録D 対数目盛と対数グラフ

出版社
商品紹介

マイクロデバイス加工の要素技術について、その物理・化学の基本原理を解説する。

著者紹介

近藤 英一 (コンドウ エイイチ)  
1984年早稲田大学理工学部卒、1986年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員(ベルギー)などを経て、山梨大学助教授(工博、京都大学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)