半導体デバイス評価技術全般を、初心者向けに解説した入門書。著者の豊富な経験を元に、デバイス評価の各段階を丁寧に説明してあります。各種プロット法の詳しい説明が掲載され、すぐに応用できるようになっています。最終章の「具体例・応用事例」には、実際の事例で得られた各種画像が掲載され、典型例が示されています。読みが入った略語一覧付き。 ※本書は２０００年１月に工業調査会から発行された初版に、加筆・訂正を加えて第２版として刊行したものです。