Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)
Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials
Suryadevara, Babu (EDT)
- 出版社：Woodhead Publishing
- 出版年月：2021年 09月
- ISBN：9780128217917
- 装丁：PAP
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装丁について
- 言語：ENG
- 版次：2ND
- 巻数・ページ数：648 p.
- 分類： 電子材料・デバイス
- DDC分類：621.38152