- 出版社：CRC Press Inc
- 出版年月：2012年 02月
- ISBN：9781420090529
- 装丁：HRD
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装丁について
- 言語：ENG
- 巻数・ページ数：546 p.
- 分類： ナノ・マイクロ科学
- DDC分類：620.5
- 内容紹介：
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Builds upon current understanding of microfabrication, moving into the nano dimension and demonstrating how work at this level calls for a different process.