微細加工とナノテクノロジーの基礎（第３版・全３巻）
Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Three-Volume Set
Madou, Marc J.
- 出版社：CRC Press Inc
- 出版年月：2011年 08月
- ISBN：9780849331800
- 言語：ENG
- 版次：3RD
- 巻数・ページ数：1992 p.
- DDC分類：620.5
- 内容紹介：
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Includes recent developments in design packages, DNA and protein array, and fluidics. It also includes a section on nanotechnology applications and a chapter on nanomachining