半導体製造のためのクリーニング
Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing
Fundamentals and Applications
Wiley-Scrivener
Reinhardt, Karen A.
Reidy, Richard F.
- 出版社：Wiley-Scrivener
- 出版年月：2011年 02月
- ISBN：9780470625958
- 装丁：HRD
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装丁について
- 言語：ENG
- 巻数・ページ数：590 p.
- 分類： 電子材料・デバイス
- DDC分類：621
- 内容紹介：
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Provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation.