Novel Optical Technologies for Nanofabrication
Nanostructure Science and Technology
Liu, Q.
Duan, X.
Peng, C.
- 出版社：Springer
- 出版年月：2013年 11月
- ISBN：9783642403866
- 装丁：HRD
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装丁について
- 巻数・ページ数：290 p.
- 分類： ナノ・マイクロ科学 , オプトエレクトロニクス
- 内容紹介：
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Introduces novel optical technologies for micro/nanofabrication, that are different from the conventional fabrication methods.