Dry Etching for VLSI
Updates in Applied Physics and Electrical Technology
van Roosmalen, A. J.
Baggerman, J. A. G.
Brader, S. J. H.
- 出版社：Springer Verlag
- 出版年月：2013年 11月
- ISBN：9781489925688
- 装丁：PAP
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装丁について
- 言語：ENG
- 版次：Reprint
- 巻数・ページ数：254 p.
- DDC分類：539