Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses
Fundamental Mechanisms and Application to IC Interconnect Technology
Borst, Christopher Lyle
Gill, William N.
Gutmann, Ronald J.
- 出版社：Springer Verlag
- 出版年月：2014年 08月
- ISBN：9781461354246
- 装丁：PAP
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装丁について
- 言語：ENG
- DDC分類：670