シリコン・ウェハー洗浄技術ハンドブック（第３版）
Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology
Reinhardt, Karen A. (EDT)
Kern, Werner (EDT)
- 出版社：William Andrew Publishing
- 出版年月：2018年 03月
- ISBN：9780323510844
- 装丁：PAP
-
装丁について
- 言語：ENG
- 版次：3RD
- 巻数・ページ数：760 p.
- DDC分類：621.38152
- 内容紹介：
-
Covers processes and equipment, as well as new materials and changes required for the surface conditioning process.