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RF MEMS技術の応用展開 普及版

〔CMCテクニカルライブラリー〕 417 新材料・新素材シリーズ

出版社名 シーエムシー出版
出版年月 2012年2月
ISBNコード 978-4-7813-0496-0
4-7813-0496-6
税込価格 3,740円
頁数・縦 224P 21cm

商品内容

目次

1 総論(MEMS技術の概要
RF MEMS技術の概要)
2 プロセス技術(プロセス基盤技術
RF MEMSのプロセス技術 ほか)
3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術
MEMS構造体のRF設計技術)
4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ
線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール
高効率デュアルバンド増幅器 ほか)