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    • 本

    ナノインプリントの開発とデバイス応用　普及版

    エレクトロニクスシリーズ

    出版社名 シーエムシー出版
    出版年月 2018年3月
    ISBNコード 978-4-7813-1272-9
    （4-7813-1272-1）
    税込価格 6,160円
    頁数・縦 ２８２Ｐ　２６ｃｍ
    シリーズ名 ナノインプリントの開発とデバイス応用

    商品内容

    目次

    総論
    第１編　転写方式（熱ナノインプリント
    光ナノインプリント
    室温ナノインプリント
    ナノインプリントのシミュレーション技術）
    第２編　装置と関連部材（ナノインプリント装置
    モールド
    樹脂
    離型剤（評価）
    離型不良・課題
    ナノインプリントパターン評価）
    第３編　デバイス応用（光デバイス
    電子デバイス
    エネルギーデバイス
    バイオデバイス）