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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 普及版

新材料・新素材シリーズ

出版社名 シーエムシー出版
出版年月 2019年4月
ISBNコード 978-4-7813-1364-1
4-7813-1364-7
税込価格 7,370円
頁数・縦 279P 26cm
シリーズ名 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

商品内容

目次

第1編 総論編
第2編 プロセス技術編
第3編 回路・デバイス設計技術編
第4編 NEMS技術編
第5編 センサ技術編
第6編 RF‐MEMS技術編
第7編 エネルギーハーベスト技術編
第8編 実装技術編
第9編 解析・評価技術編