異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 普及版
新材料・新素材シリーズ
出版社名 | シーエムシー出版 |
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出版年月 | 2019年4月 |
ISBNコード |
978-4-7813-1364-1
(4-7813-1364-7) |
税込価格 | 7,370円 |
頁数・縦 | 279P 26cm |
シリーズ名 | 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 |
商品内容
目次 |
第1編 総論編 |
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