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精密計測学 Bilingual edition
1 精密計測の基準2 長さスケール3 角度スケール4 時間スケール5 幾何形状と表面性状の計測6 光干渉計7 マシンビジョン8 空間位置計測9 光学顕微鏡10 走査プローブ顕微鏡11 誤差要因と不確かさ12 自律校正法13 機械学習と精密計測14 超短パルスレーザと光周波数コム
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4-254-20178-8
高偉/他著
朝倉書店
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