グローブ半導体デバイスの基礎
| 出版社名 | オーム社 |
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| 出版年月 | 1995年6月 |
| ISBNコード |
978-4-274-13018-2
（4-274-13018-5） |
| 税込価格 | 4,730円 |
| 頁数・縦 | ４１１Ｐ ２１ｃｍ |
商品内容
| 要旨 |
本書の目的はプレーナシリコンデバイス、すなわちプレーナ技術によって作られたデバイスの物理と技術の基礎を供することにある。現在、ＬＳＩ、超；ＳＩさらには超々ＬＳＩと発展しつつあるＩＣ技術の成長を可能にした根元は、二つの半導体の内に多くの素子を集積しようとする概念と、シリコンの表面をシリコン酸化膜で覆い、その絶縁膜の上に配線して素子を結ぶ技術があった。後者の技術がプレーナ技術と呼ばれ、１９５９年にフェアチャイルド社で開発され特許出願されたものである。 |
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| 目次 |
第１部 固体技術 |