• 本

RF MEMS技術の最前線 ワイヤレス時代のキーテクノロジー

新材料シリーズ

出版社名 シーエムシー出版
出版年月 2006年4月
ISBNコード 978-4-88231-560-5
4-88231-560-2
税込価格 71,500円
頁数・縦 224P 27cm

商品内容

目次

1 総論(MEMS技術の概要
RF MEMS技術の概要)
2 プロセス技術(プロセス基盤技術
RF MEMSのプロセス技術 ほか)
3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術
MEMS構造体のRF設計技術)
4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ
線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール
高効率デュアルバンド増幅器 ほか)

出版社・メーカーコメント

▼内容:<総論>概要<プロセス技術>圧電薄膜/ファンドリーサービス/他<設計技術>力学的設計技術/他<デバイス技術>単結晶シリコン/受動回路素子/他<応用技術>無線通信アンテナ/計測器応用/他

著者紹介

大和田 邦樹 (オオワダ クニキ)  
国際標準化工学研究所所長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)