
RF MEMS技術の最前線 ワイヤレス時代のキーテクノロジー
新材料シリーズ
出版社名 | シーエムシー出版 |
---|---|
出版年月 | 2006年4月 |
ISBNコード |
978-4-88231-560-5
(4-88231-560-2) |
税込価格 | 71,500円 |
頁数・縦 | 224P 27cm |
商品内容
目次 |
1 総論(MEMS技術の概要 |
---|
RF MEMS技術の最前線 ワイヤレス時代のキーテクノロジー
新材料シリーズ
出版社名 | シーエムシー出版 |
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出版年月 | 2006年4月 |
ISBNコード |
978-4-88231-560-5
(4-88231-560-2) |
税込価格 | 71,500円 |
頁数・縦 | 224P 27cm |
目次 |
1 総論(MEMS技術の概要 |
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0100000000000031711691
4-88231-560-2
RF MEMS技術の最前線 ワイヤレス時代のキーテクノロジー
大和田邦樹/監修
シーエムシー出版
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BK
出版社・メーカーコメント
▼内容:<総論>概要<プロセス技術>圧電薄膜/ファンドリーサービス/他<設計技術>力学的設計技術/他<デバイス技術>単結晶シリコン/受動回路素子/他<応用技術>無線通信アンテナ/計測器応用/他