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    ナノインプリント技術および装置の開発　普及版

    〔ＣＭＣテクニカルライブラリー〕　３８３　エレクトロニクスシリーズ

    出版社名 シーエムシー出版
    出版年月 2011年2月
    ISBNコード 978-4-7813-0302-4
    （4-7813-0302-1）
    税込価格 3,520円
    頁数・縦 ２１３Ｐ　２１ｃｍ

    商品内容

    目次

    第１章　総説（転写方式
    周辺技術　ほか）
    第２章　転写方式（熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ
    室温ナノインプリント技術　ほか）
    第３章　装置と関連部材（ナノインプリント装置
    モールド　ほか）
    第４章　デバイス応用（電子・磁気・光学デバイス
    光デバイス　ほか）