ナノインプリント技術
| 出版社名 | 電子情報通信学会 |
|---|---|
| 出版年月 | 2014年3月 |
| ISBNコード |
978-4-88552-285-7
（4-88552-285-4） |
| 税込価格 | 4,840円 |
| 頁数・縦 | １０，２６５Ｐ ２１ｃｍ |
商品内容
| 要旨 |
ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。 |
|---|---|
| 目次 |
ナノインプリントと微細加工 |