１　電子（電子線分析
低エネルギー電子顕微鏡／光電子顕微鏡　ほか）
２　粒子（イオンビーム分析
イオン散乱法　ほか）
３　光（赤外分光法・テラヘルツ分光法
ラマン分光法　ほか）
４　探針（接触プローブ法
原子間力顕微鏡　ほか）
５　その他（脱離分析法
磁気計測　ほか）