マイクロ加工の物理と応用
応用物理学選書 ８
| 出版社名 | 裳華房 |
|---|---|
| 出版年月 | 1998年3月 |
| ISBNコード |
978-4-7853-2508-4
（4-7853-2508-9） |
| 税込価格 | 4,620円 |
| 頁数・縦 | ２３４Ｐ ２２ｃｍ |
商品内容
| 要旨 |
本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。 |
|---|---|
| 目次 |
１ マイクロ加工の意義 |