アクティブ・プラズモニクス
出版社名 | コロナ社 |
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出版年月 | 2013年5月 |
ISBNコード |
978-4-339-00836-4
(4-339-00836-2) |
税込価格 | 4,950円 |
頁数・縦 | 304P 21cm |
商品内容
目次 |
1 表面プラズモン |
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出版社 商品紹介 |
本書では,ドライプロセスの歴史的発展過程にふれ,次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに,代表的なドライプロセスを取り上げ,どのような原理・原則に基づいているか,薄膜・表面評価分析技術について |